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产品名称:湖北提供半导体密封圈
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简单介绍:
有效防止气体渗透,保障真空系统密封;具备良好的电绝缘性能,适用电子与半导体设备。
详情介绍:
典型应用设备:
单晶炉、氧化炉:高低温循环密封
清洗机、蚀刻设备(湿法/干法):耐化学品、耐等离子体腐蚀密封
CVD、PVD设备:真空及高温环境密封,耐热稳定性好
CMP设备:耐磨、耐高PH化学品腐蚀
光刻设备:耐溶剂密封
各类气路、液路及真空系统:高纯密封,防止污染
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