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  • 产品名称：湖北定制半导体O型圈耐腐蚀

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简单介绍：
全氟醚橡胶，这种由四氟乙烯、全氟化甲基乙烯基醚和全氟烯醚三元共聚而成的橡胶，因其完全不含C-H键，而展现出与聚四氟乙烯相似的热稳定性和耐化学介质性。
详情介绍：
在半导体制造工艺中，全氟醚橡胶密封圈承担着关键功能：
工艺密封：应用于刻蚀、沉积、离子注入、化学机械抛光（CMP）等工艺中，阻隔污染物侵入和防止工艺气体外泄
设备密封：用于蚀刻机、CVD设备等半导体制造设备的真空系统密封
耗材特性：由于高温和化学作用导致的老化变形，密封圈平均替换周期为3-6个月

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