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  • 产品名称:湖北半导体氟橡胶管价格

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氟橡胶管是以含氟合成橡胶为基材,专为半导体制造领域极端洁净、高温、强腐蚀环境设计的高性能管道材料。可在-60℃至250℃的宽温域内保持性能稳定,部分特种型号短时耐受温度达300℃,适配半导体制造中高温刻蚀、低温沉积等不同工艺环节的需求,具备良好的低透气性和密封性能,可适配高真空(10⁻⁷Pa级)环境,有效防止气体泄漏,保障真空工艺(如等离子刻蚀、CVD)的稳定性。
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