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  • 产品名称：半导体蚀刻机密封圈

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半导体蚀刻机（尤其是干法刻蚀设备）的反应腔室、气体分配系统和阀门组件等关键部位，需要在高温、强腐蚀性化学介质和高能等离子体环境中长期稳定工作。普通材料（如FKM）在这些条件下会迅速老化、降解并析出颗粒，污染晶圆并导致设备故障。因此，蚀刻机密封圈必须采用性能更优越的全氟醚橡胶（FFKM）。
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