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  • 产品名称：湖北半导体生产设备密封O型圈

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氟橡胶具有优异的耐高温性（连续使用温度可达230℃）、化学稳定性和低释气性，能耐受强酸、强碱及有机溶剂，适用于CVD、蚀刻等高温工艺，主要用于半导体设备的气体管路连接、真空腔体密封及晶圆搬运机械手关节部位，确保在高真空、高腐蚀性环境下长期稳定运行。
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