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产品名称:半导体用密封圈厂家定制
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简单介绍:
在半导体制造领域,全氟醚橡胶(FFKM)密封圈是保障芯片良率与生产的关键耗材,它需要在高温、强腐蚀、等离子体轰击及超高真空的极端环境下,提供稳定、洁净、低析出的密封。
详情介绍:
全氟醚橡胶长期工作温度需覆盖 -40℃ 至 320℃,部分高温工艺(如扩散炉)要求瞬时耐温 > 330℃,选型需提供温度、压力、介质成分(特别是等离子体类型)、运动状态(静态/动态)等信息,这是选型的依据。
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