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產品名稱:湖北提供半導體密封圈
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簡單介紹:
有效防止氣體滲透,保障真空係統密封;具備良好的電絕緣性能,適用電子與半導體設備。
詳情介紹:
典型應用設備:
單晶爐、氧化爐:高低溫循環密封
清洗機、蝕刻設備(濕法/乾法):耐化學品、耐等離子體腐蝕密封
CVD、PVD設備:真空及高溫環境密封,耐熱穩定性好
CMP設備:耐磨、耐高PH化學品腐蝕
光刻設備:耐溶劑密封
各類氣路、液路及真空係統:高純密封,防止汙染
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