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產品名稱:湖北半導體氟橡膠管價格
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氟橡膠管是以含氟合成橡膠為基材,專為半導體製造領域極端潔淨、高溫、強腐蝕環境設計的高性能管道材料。可在-60℃至250℃的寬溫域內保持性能穩定,部分特種型號短時耐受溫度達300℃,適配半導體製造中高溫刻蝕、低溫沉積等不同工藝環節的需求,具備良好的低透氣性和密封性能,可適配高真空(10⁻⁷Pa級)環境,有效防止氣體泄漏,保障真空工藝(如等離子刻蝕、CVD)的穩定性。
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