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產品名稱:半導體蝕刻機密封圈
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半導體蝕刻機(尤其是乾法刻蝕設備)的反應腔室、氣體分配係統和閥門組件等關鍵部位,需要在高溫、強腐蝕性化學介質和高能等離子體環境中長期穩定工作。普通材料(如FKM)在這些條件下會迅速老化、降解並析出顆粒,汙染晶圓並導致設備故障。因此,蝕刻機密封圈必須采用性能更優越的全氟醚橡膠(FFKM)。
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